半導體工業用的氣體統稱電子氣體。

按門別類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。

特殊材料氣體主要用於外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。

電子氣體是特種氣體的重要分支，也是超大規模集成電路、平面顯示器件，

化合物半導體氣件，太陽能電池，光纖等電子工業生產不可缺少的原料，

他們廣泛應用於薄膜、蝕刻、參雜、氣相沉積、擴散等工藝。

它的純度和潔淨度直接影響到光電子、微電子元件的質量，集成度、特定技術指標和成品率，

並從根本上制約著電路和氣件的精確性和準確性。

近幾年來，智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、等產業的迅速發展，

電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。